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德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列特點(diǎn)與用途

更新時(shí)間:2025-07-09   點(diǎn)擊次數(shù):4次

標(biāo)題德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列

主要產(chǎn)品

真空傳感器

主要型號(hào)

MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R - 膜片式真空傳感器

MEMBRAN-1000TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-100TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-1TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-10TORR45-C-3A-CF16R

 

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹:

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列

產(chǎn)品介紹(以MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R為例)

該產(chǎn)品是一款溫度調(diào)節(jié)的膜片式真空傳感器,采用電容式測(cè)量原理,適用于高精度真空測(cè)量。

技術(shù)參數(shù):

測(cè)量范圍:1.3×10?? - 1.3×10?1 mbar

連接方式:CF法蘭

通徑:16mm

加熱溫度:110°C

接口:RS232和模擬信號(hào)

精度:0.15%

外形尺寸:33.8mm×145.7mm

工作原理:

通過(guò)電容式膜片測(cè)量真空壓力變化,溫度調(diào)節(jié)確保測(cè)量穩(wěn)定性,數(shù)字和模擬接口提供多種數(shù)據(jù)輸出方式。

 

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好

溫度調(diào)節(jié)功能確保測(cè)量一致性

多種接口可選,兼容性強(qiáng)

結(jié)構(gòu)緊湊,安裝方便

符合PCS清潔度標(biāo)準(zhǔn)

 

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列主要應(yīng)用:

德國(guó)VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產(chǎn)品系列產(chǎn)品。

半導(dǎo)體制造設(shè)備

科研實(shí)驗(yàn)裝置

真空鍍膜系統(tǒng)


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